top
TOP プレスリリース 検索 ご意見・お問い合わせ ENGLISH

●FEDミーティング

FeRAM最終成果報告会

(独)新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託により、
1999年度に開始しました「次世代強誘電体メモリ研究開発」プロジェクトは、
予定通り2004年3月末で終了致しました。
最終成果報告会が3月に開催されました。


期日: 2004年3月10日(水)
9時30分〜17時30分
場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス 西9号館1階 デジタル多目的ホール
東急線大岡山駅下車 徒歩5分

プログラム
9:30 開会・挨拶
 相澤 益男 東京工業大学 学長
 和田敏美 経済産業省 情報通信技術企画調査官
 西川泰蔵 新エネルギー・産業技術総合開発機構 電子・情報技術開発部長
 中村 哲夫 富士通研究所 常務取締役
10:00 『「次世代強誘電体メモリの研究開発」プロジェクトの成果概要』
 石原 宏 〔東京工業大学 フロンティア創造共同研究センター〕
11:00 (招待講演)
『三星電子における不揮発性メモリの研究開発』
 Kinam Kim (Samsung Electronics)
12:00 休憩
13:00 『MFIS構造体での絶縁層の機能と向上』
 水谷惟恭、篠崎和夫、脇谷尚樹、木口賢記
 〔東京工業大学 大学院理工学研究科〕
13:20 『原料溶液の構造制御による強誘電体薄膜の高品質化』
 加藤 一実 〔産業技術総合研究所 セラミックス研究部門〕
13:40 『強誘電体ゲートトランジスタの作製と評価』
 徳光 永輔 〔東京工業大学 精密工学研究所〕
14:00 『シリケート添加ゾルゲルPZT薄膜の開発』
 田村 哲朗 〔新機能素子研究開発協会(富士通研究所)〕
14:15 『下部電極用窒化物バリア層、ならびにMo、W添加強誘電体膜の形成と評価』
 大木 博 〔新機能素子研究開発協会(シャープ)〕
14:30 『RFマグネトロンスパッタ法によるSi添加SrBi2Ta2O9強誘電体薄膜の作製』
 菊地 真 〔新機能素子研究開発協会(アルバック)〕
14:45 『強誘電体薄膜形成用新規ゾルゲル溶液の開発』
 竹石 順司 〔新機能素子研究開発協会(関東化学)〕
15:00 休憩
15:20 『ビスマス層状強誘電体の強誘電性設計』
 舟窪 浩 〔東京工業大学 大学院総合理工学研究科〕
15:40 『配向制御SrBi2Ta2O9膜を用いたMFISダイオードFETの研究(平成11年度−13年度)とその後の研究の一展開』
 酒井 滋樹 〔産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門〕
16:00 『MOCVD法を用いた強誘電体メモリ用ルテニウム電極の作製と評価』
 古川 泰助 〔新機能素子研究開発協会(三菱電機)〕
16:15 『HfO2系バッファ層を用いたMFIS構造の作製と評価』
 鉾 宏真〔新機能素子研究開発協会(富士通研究所)〕、
 朴 炳垠〔新機能素子研究開発協会〕
16:30 『高密度極薄Si3N4バッファ層を用いたMFISトランジスタの作製と評価』
 藤崎 芳久 〔新機能素子研究開発協会(日立製作所)〕
16:45 『1T2C型強誘電体メモリの設計と評価』
 石川 徹 〔新機能素子研究開発協会(三洋電機)〕
17:00 『強誘電体デバイスの応用〜不揮発性フリップフロップを用いた不揮発性カウンタの設計〜』
 淵上 貴昭〔新機能素子研究開発協会(ローム)〕
17:15 (招待講演)
『ETRIにおけるトランジスタ型強誘電体メモリの研究開発』
 尹 聖民〔韓国電子通信研究院、基盤技術研究所〕

↑ページTOP 

(C) 2001-2009 R&D Association for Future Electron Devices All rights reserved.